平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量方法通常(chang)有：塞規/塞尺測量(liang)法(fa)、液平面法(fa)、激光平面干(gan)涉儀(yi)測量(liang)法(fa)（平晶干(gan)涉法(fa)）、水平儀(yi)/數(shu)字(zi)水平儀(yi)測量(liang)法(fa)、以及打表測量(liang)法(fa)。

　　塞(sai)尺(chi)測(ce)量法，只需一套可(ke)隨(sui)身攜帶的塞(sai)尺(chi)就可(ke)隨(sui)時隨(sui)地進行平面度的粗測(ce)。目前(qian)很多工廠仍使用該(gai)方法進行檢(jian)測(ce)。由于(yu)其精度不高(gao)，常規zui薄(bo)塞(sai)尺(chi)為10um，檢(jian)測(ce)效率(lv)較低，結果不夠全面，只能檢(jian)測(ce)零件邊緣。

　　液平(ping)(ping)面(mian)法，基(ji)于連(lian)(lian)通器工作原(yuan)理，適合測量連(lian)(lian)續(xu)或不連(lian)(lian)續(xu)的大平(ping)(ping)面(mian)的平(ping)(ping)面(mian)度，但測量時間長，且(qie)對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平(ping)(ping)面(mian)。

　　激光平(ping)(ping)面(mian)干涉儀測(ce)(ce)量法(fa)，zui典型的(de)用法(fa)是平(ping)(ping)晶(jing)干涉法(fa)。但主要于測(ce)(ce)量光潔的(de)小平(ping)(ping)面(mian)的(de)測(ce)(ce)量，如千分頭(tou)測(ce)(ce)量面(mian)，量規的(de)工(gong)作面(mian)，光學透(tou)鏡。

    丹青公司聯合德國(guo)LAMTECH的推出非接觸激光平面度測量儀，LAMTECH平(ping)面度(du)快速測量(liang)儀，采用掠入(ru)射光干涉原理，專(zhuan)注于高精密加工表面平(ping)面度(du)快速測量(liang)評估(gu), 廣泛應(ying)用于航空航天，汽車工業噴油嘴行(xing)業，泵、閥門(men)密封件表面，以及(ji)光學工程，激光工程等領(ling)域

      德國LAMTECH平面度測量儀快速測量平面度的測量方法，高效快速，即可以用于(yu)車間現場全(quan)檢測，也可以用于(yu)實驗室平面度測量研究。

　　水平儀(yi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)法(fa)，廣泛用于(yu)工件表面的(de)直線度和平面度測(ce)(ce)(ce)量(liang)。測(ce)(ce)(ce)量(liang)精度高、穩定性(xing)好、體積小(xiao)、攜帶方(fang)便(bian)。但是(shi)用該方(fang)法(fa)測(ce)(ce)(ce)量(liang)時需要反(fan)復挪動儀(yi)器(qi)位置，記錄各測(ce)(ce)(ce)點(dian)的(de)數(shu)據，費時、費力，調整(zheng)時間長，數(shu)據處理程序繁瑣。

　　打表測量(liang)法，典型應用(yong)為平(ping)板測微儀及三(san)坐標儀，其中優以三(san)坐標儀為應用(yong)zui廣(guang)泛。測量(liang)時指示器在(zai)待測樣品(pin)上移動，按選(xuan)定(ding)的布點測取各(ge)測量(liang)點相對(dui)于測量(liang)基準的數據(ju)，再經過數據(ju)處理評(ping)定(ding)出(chu)平(ping)面度(du)誤差。但其效率較低，通常一(yi)個樣品(pin)需要(yao)幾分鐘(zhong)，離15ppm的期望相差甚遠。